產品介紹
氫-氟酸濃度分析儀,產品具有高精度、SEMIG5級、耐高溫、長壽命光源、恒溫探測器等特點,測量范圍0-55%。傳感器采用超純PTFE/PFA流通池結構結合大面積藍寶石光學棱鏡,通過長期技術積累和攻關研發(fā),解決了半導體行業(yè)濕電子化學品濃度在線測控類產品的“卡脖子”問題。
氫-氟酸濃度分析儀,無需樣品預處理,無需試劑耗材,秒量級的快速測量,讓企業(yè)實時掌握生產動態(tài)。在檢測過程中無機械動作,確保長期使用穩(wěn)定。儀表采用長達10萬小時的超長壽命光源,檢測過程無機械動作,確保長期穩(wěn)定運行,降低維護成本。全平面結構的檢測棱鏡,避免藏污納垢。出廠校準和自動溫度補償,讓您直接投入使用,無需繁瑣設置。支持上位機通訊,4-20mA&RS485信號輸出、報警及控制等開關量信號輸出,支持數(shù)據(jù)建模功能,可定制數(shù)據(jù)模型。
應用領域
氫-氟酸濃度分析儀主要應用于需要監(jiān)測和控制氫-氟酸濃度的領域,包括:
1. 半導體制造:
刻蝕工藝:在半導體制造過程中,氫-氟酸被廣泛用作刻蝕劑,用于去除氧化硅、氮化硅等材料??刂茪?氟酸濃度對于控制刻蝕速率、確??涛g均勻性至關重要。
清洗工藝:氫-氟酸也用于清洗晶圓表面的雜質和殘留物。濃度控制同樣影響清洗效果和晶圓質量。
摻雜工藝:某些摻雜工藝中,氫-氟酸被用于預處理晶圓表面。
2. 太陽能電池制造:
硅片表面處理:氫-氟酸用于清洗硅片表面,去除表面氧化層和金屬雜質,提高太陽能電池的光電轉換效率。
絨面化處理:一些太陽能電池生產工藝使用氫-氟酸進行硅片表面絨面化,增加光吸收率。
3. 液晶顯示器(LCD)和OLED制造:
玻璃基板清洗:在LCD和OLED制造過程中,氫-氟酸用于清洗玻璃基板,去除表面污染物,提高顯示質量。
薄膜刻蝕:某些薄膜工藝中使用氫-氟酸進行選擇性刻蝕。
4. 化學分析實驗室:
高純試劑配制:用于配制高純度氫-氟酸溶液,作為分析化學實驗中的重要試劑。
樣品預處理:氫-氟酸用于溶解一些難溶樣品,以便進行后續(xù)的化學分析。
5. 電子化學品生產:
質量控制: 在電子級氫-氟酸的生產過程中,需要實時監(jiān)測產品濃度,確保產品符合質量標準。
工藝優(yōu)化:通過測量濃度數(shù)據(jù),優(yōu)化生產工藝,提高產品純度和收率。
6. 研究機構:
材料研究:用于研究氫-氟酸對各種材料的腐蝕行為,為新材料的開發(fā)提供參考。
化學反應研究:用于研究氫-氟酸參與的各種化學反應,例如氟化反應。
技術參數(shù)
產品型號 | CYR-E-HF |
測量項目 | 折射率、溫度、濃度 |
測量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補償 | 0-130℃ |
關鍵材質 | 觸液面材質:超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質 | 光學級藍寶石 |
信號輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關量信號輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項 | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復出廠設置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導出等功能 |


















