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TEL 二手氣相化學(xué)沉積CVD設(shè)備triase

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公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地青島市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2025/11/24 14:05:13
訪問次數(shù)53

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公司介紹主營產(chǎn)品

青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室，坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初，便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里，公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷，最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，使我們?cè)谖磥淼陌l(fā)展中，有底氣的大踏步前進(jìn)。目前，佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù)，不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售，更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯，再見時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔，隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè)，從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品，從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi)，放眼，我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實(shí)驗(yàn)室，并且積累了大量的科研資料，在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命，以客戶為中心的經(jīng)營理念，為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

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半導(dǎo)體工藝技術(shù)一直在不斷縮小規(guī)模并朝著3D結(jié)構(gòu)發(fā)展，這對(duì)薄膜沉積提出了挑戰(zhàn)

TEL 二手氣相化學(xué)沉積CVD設(shè)備triase 產(chǎn)品信息

半導(dǎo)體工藝技術(shù)一直在不斷縮小規(guī)模并朝著 3D 結(jié)構(gòu)發(fā)展，這對(duì)薄膜沉積提出了挑戰(zhàn)。Trias EX-II TiN（氮化鈦）是一種的 300mm 單晶片沉積系統(tǒng)，適用于高速 ASFD ，可實(shí)現(xiàn)具有出色晶片內(nèi)均勻性和高臺(tái)階覆蓋特性的高質(zhì)量薄膜形成。該系統(tǒng)采用優(yōu)化的反應(yīng)器設(shè)計(jì)和新的氣體注入模塊，即使在的半導(dǎo)體器件制造中也能實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率，并用于各種應(yīng)用，包括接觸勢壘、電容器電極、字線勢壘和金屬柵極的形成。三重奏EX-II TiN Plus 為復(fù)雜結(jié)構(gòu)上的 TiN 保形金屬沉積提供了出色的均勻性。此外，產(chǎn)品陣容中還新增了兩款型號(hào)。Trias EX-I TiN Plus HT 專門用于高溫 TiN 沉積，旨在通過降低雜質(zhì)水平獲得更低的接觸電阻薄膜，而 Trias EX-II TiON（氧氮化鈦）提供低漏電流 TiON 薄膜沉積可用于 MIM 電容器電極的形成。所有這些型號(hào)都具有靈活的設(shè)計(jì)，最多可以集成四個(gè)腔室，并且單個(gè)腔室已經(jīng)優(yōu)化了清潔技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率和低 CoC。