環(huán)保在線>產(chǎn)品庫>泵-主分類>循環(huán)泵|旋渦泵>渦輪泵>>渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜

渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌
型號
所在地深圳市
廠商性質(zhì)代理商
更新時間2025/5/28 11:32:01
訪問次數(shù)72

產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價收藏產(chǎn)品點擊查看電話

索取相關(guān)資料

公司介紹主營產(chǎn)品

伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國Pfeiffer中國華東華南代理)www.hakuto-vacuum.cn，專業(yè)銷售及維修德國Pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀及分子泵、旋片泵、羅茨泵、真空規(guī)管、質(zhì)譜儀等真空產(chǎn)品。維修技術(shù)力量雄厚，保證 100 % 擁有標(biāo)準的德國Pfeiffer原廠測試設(shè)備及調(diào)整工具和德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師，多年來致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機、保養(yǎng)等，具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識，并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進口檢測設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做*性能測試。

伯東企業(yè)(上海)有限公司(德國普發(fā)中國區(qū)總代理)是一家專業(yè)代理公司，專業(yè)代理德國Pfeiffer 真空產(chǎn)品。主要經(jīng)營渦輪分子泵(分子泵 Hipace10-700 l/s系列、TMH/U、 TPH/U之分子泵 10-500 l/s系列、分子泵 1000-2000 l/s系列及全磁浮分子泵 magnetic turbo pump系列)、分子泵機組、分子泵附件、機械泵(單、雙級旋片泵、羅茨泵)、油泵、干泵(隔膜泵、Xtradry)、氦質(zhì)譜檢漏儀、質(zhì)譜儀(殘余氣體分析質(zhì)譜系列和常壓分析質(zhì)譜系列)、真空計、真空配件(連接零部件、密封件、法蘭、管件、波紋管、轉(zhuǎn)接頭)、真空閥門和分子泵*油(P3油、F4/F5油、D1油)等產(chǎn)品。

同時，我公司作為德國普發(fā)在中國**Pfeiffer維修中心，在上海、深圳、中國臺灣、日本、泰國、香港等地均設(shè)有Pfeiffer 正式*維修服務(wù)網(wǎng)點，保證 100 ％德國 Pfeiffer 原廠部件和受德國Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)的工程師，并用 Pfeiffer 進口檢測*設(shè)備對維修后的產(chǎn)品做全方面的性能測試，為您提供從配件到維護合同的標(biāo)準化服務(wù)體系。

我公司秉承較早、Z快、Z及時的基本原則，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和周到的服務(wù)。伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作，共建一個誠信、發(fā)展、共同進步的良好環(huán)境。

展開顯示更多內(nèi)容

德國 Pfeiffer 真空泵，氦檢漏儀,分子泵，質(zhì)譜儀，真空規(guī)管，真空閥門及美國Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵， Polycold 冷凍機和美國KRI 離子源，PLD鍍膜機

產(chǎn)品簡介在線詢價

渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜

渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品信息

Pfeiffer 渦輪分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜
電子束蒸鍍是 PVD 薄膜沉積技術(shù)的一種. 與傳統(tǒng)熱阻蒸鍍方式不同, 電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現(xiàn)利用高能電子轟擊坩堝內(nèi)靶材, 使之融化進而沉積在基片上. 電子束蒸鍍可以鍍出高純度高精度的薄膜. 電子束是一種高速的電子流. 電子束蒸發(fā)是目前真空鍍膜技術(shù)中一種成熟且主要的鍍膜方法, 它解決了電阻加熱方式中膜料與蒸鍍源材料直接接觸容易互混的問題. 電子束蒸發(fā)廣泛應(yīng)用于家電電器, 鐘表, 燈具, 工藝美術(shù)品, 玩具, 車燈反光罩, 手機按鍵外殼以及儀器儀表, 塑料, 玻璃, 陶瓷、磁磚等表面裝飾性鍍膜及工模具的功能涂層.

電子束蒸鍍是利用加速電子轟擊鍍膜材料, 電子的動能轉(zhuǎn)換成熱能使鍍膜材料加熱蒸發(fā)并成膜. 電子束加熱蒸鍍的特點是能獲得的能量密度, 可達 109w/cm2, 加熱溫度可達 3000～6000℃, 可以蒸發(fā)難熔金屬或化合物; 被蒸發(fā)材料置于水冷的坩堝中, 可避免坩堝材料的污染, 制備高純薄膜; 另外, 由于蒸發(fā)物加熱面積小, 因而熱輻射損失減少, 熱效率高

電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境！
電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運, 在基底上凝結(jié)形成薄膜的方法. 常見于半導(dǎo)體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標(biāo)靶, 使材料標(biāo)靶蒸發(fā)升騰. 最終沉積到目標(biāo)上.
在蒸發(fā)鍍膜設(shè)備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內(nèi)雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴散泵成為的真空系統(tǒng), 上海伯東德國普發(fā) Pfeiffer 分子泵成功應(yīng)用于此.

上海伯東電子束蒸發(fā)鍍膜客戶案例一: 某大學(xué)微電子學(xué)系, 電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)配置德國 Pfeiffer 分子泵 HiPace 2300, 用于生長半導(dǎo)體材料, 金屬膜, Mn 氧化物膜. 系統(tǒng)主要參數(shù)如下
1. 真空度要求: 5x10-7 mbar
2. 基片尺寸: ≤Ф12英寸
3. 電子槍功率: 5-10KW
4. 襯底溫度：350℃
7. 溫度均勻性：±10℃
7.樣平臺轉(zhuǎn)速：≤20r/min
8. 坩堝數(shù)量：4
9. 鍍膜均勻性：±5%（Al）
10. 控制系統(tǒng)：PC+PLC全自動控制

電子束蒸發(fā)真空系統(tǒng)配置

	渦輪分子泵 HiPace 2300 接口: DN 250 CF-F 極限真空: < 5X10-10 mbar 氮氣壓縮比: > 1X1011 抽速: 1900 l/s
	全量程真空計 PKR 251 測量范圍: 5E-9至 1000 如下三種接口可選 DN25 ISO-KF DN40 ISO-KF DN40 CF-F

伯東Pfeiffer分子泵應(yīng)用于電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運行時間可以達到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>

鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉女士中國臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
ec ec.tw
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！